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企業簡介
德國霍廷格電子有限公司成立于1922年，總部設于德國弗萊堡，是世界領先的等離子體電源制造商，產品主要用于：半導體，顯示器和太陽能領域，及光學鍍膜，裝飾鍍膜，工業鍍膜，大面積玻璃鍍膜等行業的等離子體應用。
我們致力于開發、制造用于各種沉積和干腐蝕工藝的等離子電源。通快霍廷格在亞洲、歐洲和美洲分別設有銷售和服務子公司和分支機構。在中國設有亞太區應用中心、維修中心及匹配器生產中心。
主要產品
等離子體中頻電源
TruPlasma Bipolar 4000 (G2.1) 系列
此系列工藝電源專為PVD、PECVD 和反應濺射工藝的等離子輔助沉積設計。在太陽能電池、半導體制造、裝飾耐磨涂層沉積及建筑玻璃涂層市場提供完美的解決方案。
TruPlasma MF7000 (G2) 系列
全新一代 TruPlasma MF7000 (G2) 系列中頻電源，可以實時監控整個工藝過程，即使對于膜層質量極其嚴苛的大面積玻璃鍍膜工藝，也能保證極佳的膜層質量和最優的生產效率。全新一代中頻電源同時也具有很大的成本優勢，最大轉化效率可達 90%以上。
等離子體脈沖直流電源
TruPlasma Highpulse 4000 (G2) 系列
該系列電源可以沉積超耐腐蝕和超耐磨的硬質材料涂層，HIPIMS 是這類應用的首選。配合基板偏壓，該系列還可為半導體應用服務，如溝槽填充、表面預處理與蝕刻。
TruPlasma DC 4000 (G2) 系列
TruPlasma DC 4000 (G2) 系列專為金屬，金屬氧化物，絕緣材料的反應直流濺射而開發。電源以直流脈沖的形式輸出，在高要求的膜層質量和大產能的PVD 和PECVD 工藝中證明了它的優勢。
等離子體直流電源
TruPlasma DC 3000 (G2) 系列
適合眾多直流濺射工藝，得益于先進的電弧管理和集成水冷裝置，該款直流電源同樣可用作脈沖式直流電源的高性價比替代方案。此外，極其緊湊的結構使其方便集成至現有應用中。
TruPlasma Arc 3000 (G2) 系列
該系列電源主要用于硬質鍍膜和裝飾鍍膜。全水冷設計，多路輸出，確保充分利用寶貴的有效空間，方便集成至新系統或現有系統之中。
TruPlasma DCLV 3000 (G2) 系列
適用于RPD 工藝，具有強大輔助起輝功能，保證穩定起輝的同時能夠高精度大電流輸出。
TruPlasma HVDC 3000 (G2) 系列
該系列電源主要用于離子注入，粒子加速，刻蝕等等離子應用工藝。更高的電壓上限，寬泛的占空比調節，超快的電壓爬升，提高工藝的靈活性。
等離子體射頻電源
TruPlasma RF 1000/3000 (G2/13) 系列
1001 Air 1kw 系列 G2 2~6kw 系列 10~90kw 系列
全新一代的射頻電源TruPlasma RF 1000 / 3000 (G2/13.56M) 系列，對工藝過程中的所有參數進行實時監測，即使在要求嚴苛的等離子體工藝中，仍能確?？煽抗╇?。其穩定的輸出功率和高精度控制確保高效高生產效率的同時，實現最佳工藝效果。
TruPlasma VHF 3000 系列
基于創新的平臺概念, 頻率覆蓋27M；40M；60M。功率范圍1~10kw?？蓾M足極為苛刻的生產要求。VHF 電源的純水冷模塊化結構與極高的功率密度設計可以確保大功率輸出下的穩定性。
TruPlasma LF 1000 系列
頻率范圍有350k，400k，2M，功率范圍1~10kw，適用于各類半導體，光伏，ALD，刻蝕等離子應用。
TruPlasma Match 1000 (G2/13) 系列
TruPlasma Match 系列是對通快霍廷格RF 電源的完美補充，其智能匹配算法和數字化監控平臺為工藝監控提供了全方位的解決方案，其所有的部件能夠以最佳的方式協調工作。
感應加熱電源
TruHeat MF 7000 (G3) 系列
此系列電源產品能夠在最小的空間內提供最高功率和極高效率的感應加熱系統。憑借著獨一無二的優勢，此系列產品在市場上的應用范圍橫跨感應加熱傳統應用領域如硬化、退火、焊接、熔化和鍛造和第三代半導體市場如外延和晶體生長等特殊領域。
TruHeat MF 3000 / 5000 / 7000 系列
TruHeat MF 3000 / 5000 / 7000 是性能強勁的中頻電源產品系列，此系列采用并聯振蕩電路技術。該類多功能電源具備 10kW 至 40 kW 的功率范圍和 5 kHz 至 200 kHz 的輸出頻率，在傳統加熱應用和高科技工藝流程工藝中都有著出色表現。
TruHeat HF 7000 系列
能夠在高達3000 kHz 的高頻下持續穩定的輸出高功率。憑借著可靠的真空管技術，該系列電源適用于半導體和光伏產業中長時間不間斷的工藝流程，也可同樣適配商業外包淬火車間中不斷變化的要求。
TruHeat HF 1000 / 3000 / 5000 系列
囊括用于所有工業加熱工藝類型的通用型電源。緊湊設計和多種可變的結構形式使其能夠輕松集成至現有及全新設備中。
公司官網：http://www.trumpf-huettinger.com/
聯系電話：+86 (0512) 53287260
服務熱線：400 820 6136
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